前处理（决定结合力）

装炉抽真空真空至 5–10Pa，升温至 400℃，氮气等离子轰击 30–60min，彻底剥离表面氧化铝。

渗氮保温480–530℃，4–6h；氮氢混合气氛调控氮势，防止层内应力过大开裂。

控速冷却炉内缓冷至 200℃以下出炉，急冷会造成 AlN 层龟裂。

后处理（可选）抛光、封孔、浸润滑脂提升耐磨；无需染色。